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Brooks熱式質量流量計SLA系列資料

布魯克斯儀器的橡膠密封質量流量計和控制器將工藝所需的準確性、可靠性和可重復性相結合，是一種能夠為您提供高精度性能和長期穩定性并且經濟有效的測量儀器。

應用

化學品與石化分析和試驗過程

實驗室和分析系統

生命科學實驗室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過程

真空應用

參數

流體類型  氣體

流量范圍  滿量程容量3 sccm - 2500 lpm

精度  ± 0.6% of SP

最大壓力  4500 psig

溫度  65℃

布魯克斯質量流量設備得到廣泛應用的關鍵原因：

擁有業內種類齊全的產品系列可滿足各種應用需求

創新型 MultiFlo™ 技術可使一臺設備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統中拆除設備，同時還能夠提升過程氣體的測量準確性

產品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設備，專為滿足薄膜、半導體以及其他高科技行業需求而設計

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